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欢迎访问北京三和联科技有限公司官网!北京三和联公司致力于研发国产半导体设备,包括等离子体刻蚀机(RIE),离子束刻蚀机(IBE),干法刻蚀设备,感应耦合等离子体刻蚀机(ICP)等。作为等离子体刻蚀机等设备厂商在中国国产化半导体设备的研发中发挥了到重要作用,在中国国产感应耦合等离子体刻蚀机(ICP)离子束刻蚀机(IBE)国产化方面做出了重大贡献。


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关于我们

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2

社会责任

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3

企业文化

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产品板块

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产品中心

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6

干法刻蚀

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7

化学气相沉积

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8

物理气相沉积

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表面处理

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辅件

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新闻资讯

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行业新闻

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信息资讯

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14

行业应用

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15

二维材料生长

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16

二维材料刻蚀

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17

失效分析

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18

Si基材料刻蚀

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产品知识

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联系我们

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在线留言

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English

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物理气相沉积

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辅件

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离子束刻蚀Ion Beam Etching - (IBE)

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27

感应耦合等离子体刻蚀机台 Inductive Coupled Plasma (ICP)

https://www.sanhelian.cn/gyohdlzksjt.html

28

反应离子刻蚀机台 Reactive Ion Etching (RIE)

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29

桌面型等离子体刻蚀机 Compact - RIE Etcher (SV-RIE)

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30

电容耦合等离子体增强化学气相沉积Capacitivitily Coupled Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition - (CCP-CVD)

https://www.sanhelian.cn/dlztzqhxqxc.html

31

炉管式化学气相沉积Furnance Tube Chemical Vapor Deposition - (TFCVD)

https://www.sanhelian.cn/lgshxqxcj.html

32

等离子体预处理/清洗机 Plasma Treatment/Cleaner

https://www.sanhelian.cn/denglizichuli.html

33

冷水机Chiller

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34

二维材料生长应用

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35

二维材料刻蚀

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失效分析

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37

失效分析

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了解更多

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39

现代RIE反应离子刻蚀设备构成,精密工程的结晶

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40

设备的“血液”——RIE工艺气体

https://www.sanhelian.cn/RIEqiti.html

41

反应离子刻蚀RIE的核心原理——化学与物理的共鸣

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42

反应离子刻蚀(RIE)设备的演进之路

https://www.sanhelian.cn/fanyinglizi.html

43

国产刻蚀设备的崛起:替代浪潮背后的动力

https://www.sanhelian.cn/keshishebei.html

44

中国国产化RIE刻蚀设备的逆袭之路

https://www.sanhelian.cn/rie-shebei.html

45

RIE刻蚀设备-从美国垄断到中国国产化的前期背景

https://www.sanhelian.cn/riekeshi.html

46

等离子体刻蚀机

https://www.sanhelian.cn/product.html?k=等离子体刻蚀机

47

干法蚀刻—工艺参数对 ICP感应耦合等离子体刻蚀机台蚀刻的影响与优化

https://www.sanhelian.cn/ICP感应耦合等离子体刻蚀机台.html

48

干法刻蚀—ICP(感应耦合等离子体刻蚀机台)蚀刻中的沟槽效应与挑战及优化工艺参数实现高效蚀刻

https://www.sanhelian.cn/ICP蚀刻的挑战.html

49

干法刻蚀—ICP(感应耦合等离子体刻蚀机台)蚀刻的基本原理与特点

https://www.sanhelian.cn/干法刻蚀的原理.html

50

用于碳化硅(SiC)刻蚀的电感耦合等离子体(ICP)应用与优化

https://www.sanhelian.cn/电感耦合等离子体.html

51

北京三和联12项独特的团队建设活动,提升团队水平

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52

材料蚀刻:利用广泛使用的酸的腐蚀性的材料加工—北京三和联科技有限公司

https://www.sanhelian.cn/keshicailiao.html

53

北京三和联:薄膜沉积设备国产替代空间广阔,需注重协同、专利与整合

https://www.sanhelian.cn/薄膜沉积设备.html

54

SHL(三和联)离子束刻蚀机应用方向

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55

北京三和联科技有限公司关于物理气相沉积机台(PVD)研发取得突破性进展

https://www.sanhelian.cn/物理气相沉积机台.html

56

北京三和联科技有限公司

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57

国产半导体设备的厂商

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58

等离子体刻蚀机(RIE)

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59

等离子体刻蚀机

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60

离子束刻蚀机

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61

干法刻蚀设备

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62

感应耦合等离子体刻蚀机

https://www.sanhelian.cn/search.html?kw=感应耦合等离子体刻蚀机&pgi=15414

63

沉积设备

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64

二维电子薄膜材料刻蚀设备

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65

二维电子薄膜材料

https://www.sanhelian.cn/search.html?kw=二维电子薄膜材料

66

二维材料刻蚀设备

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67

失效分析设备

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68

北京FA设备供应商

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69

FA delayer Etcher

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70

干法刻蚀设备

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71

国内硅基材料生长设备厂商

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72

国产等离子体刻蚀新闻

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73

感应耦合等离子体刻蚀机

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74

离子束刻蚀机

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75

北京国产清洗机

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76

国内平板电容等离子体刻蚀机新闻

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77

国产物理气相沉积机台制造商

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78

化学气相沉积

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79

国产干法刻蚀设备厂商

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半导体设备

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清洗设备

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82

刻蚀设备

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83

沉积设备

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84

CVD设备

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85

北京FTCVD设备官网

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国产ICP设备联系方式

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