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产品中心

国产半导体设备厂商

关于三和联

技术团队

公司定位北京三和联江苏市场部位于北京,面向研究所高校及创新型公司提供高端国产微纳材料加工设备。公司自主研发国产半导体设备,基于在真空、材料以及半导体设备方面的技术累计,向客户提供先进材料刻蚀、生长与表面处理设备及服务,提高客户技术水平、生产效率与竞争力;产品涵盖硅基材料、化合物半导体材料、以及二维薄膜材料应用方向。

技术团队:10人技术团队,均拥有十年以上的半导体/真空/等离子方面的从业经验。已搭建微纳工艺demo实验平台,包括:材料表面等离子体改性机台、RIE刻蚀机台、ICP刻蚀机台、PECVD化学气相沉积机台、PVD物理气相沉积机台以及IBE离子束刻蚀机台,其中核心工艺机台全部是自研生产的国产设备。 

产品板块:三和联是一家自主研发及生产的国产半导体设备厂商。我们的产品涵盖:干法刻蚀化学气相沉积物理气相沉积表面处理辅件五大板块。目前面向市场的成熟设备及技术包括:离子束刻蚀感应耦合等离子体刻蚀机台反应离子刻蚀机台桌面型等离子体刻蚀机电容耦合等离子体增强化学气相沉积炉管式化学气相沉积物理气相沉积机台等离子体预处理/清洗机冷水机 等。

联系方式:北京三和联可最大限度支持为您量身打造更适合您的设备,如您有需求或兴趣请致电:18910215538(7*24H值班经理)。 

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