北京三和联科技有限公司位于北京,面向研究所高校及创新型公司提供高端微纳材料加工设备。公司基于在真空、材料以及半导体设备方面的技术累计,向客户提供先进材料刻蚀、生长与表面处理设备及服务,提高客户技术水平、生产效率与竞争力;产品涵盖硅基材料、化合物半导体材料、以及二维薄膜材料应用方向。

       10人技术团队,均拥有十年以上的半导体/真空/等离子方面的从业经验。

       已搭建微纳工艺demo实验平台,包括:材料表面等离子体改性机台RIE刻蚀机台ICP刻蚀机台PECVD化学气相沉积机台PVD物理气相沉积机台以及IBE离子束刻蚀机台,其中核心工艺机台全部自研生产。

       三和联面向研究所高校及创新型公司提供高端微纳材料加工设备。公司基于在真空、材料以及半导体设备方面的技术累计,向客户提供先进材料刻蚀、生长与表面处理设备及服务,提高客户技术水平、生产效率与竞争力;产品涵盖硅基材料、化合物半导体材料、以及二维薄膜材料应用方向。

北京三和联科技有限公司是国内优质半导体设备研发生产企业,我司自主研发多种半导体设备,为国内高端工业发展提供基础支持。我们的国产半导体设备受到广大客户的一致好评。


以下是三和联自主研发优质国产半导体设备:

离子束刻蚀                      感应耦合等离子体刻蚀机台                      炉管式化学气相沉积                      电容耦合等离子体增强化学气相沉积

反应离子刻蚀机台            桌面型等离子体刻蚀机                            物理气相沉积机台                          等离子体预处理/清洗机

冷水机