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SHL(三和联)离子束刻蚀机应用方向
2025-08-19
北京三和联致力于半导体设备研发与制造,坚持打造国产品牌,三和联是中国国内自主研发半导体设备的厂商之一。离子束刻蚀是半导体制造中最重要的工艺之一,用于制造微处理器、存储器、传感器等器件。2.光电子学 离子束刻蚀可用于制造光学元件,如光栅、衍射光栅、光波导等
三和联关于物理气相沉积机台(PVD)研发取得突破性进展
2025-08-19
物理气相沉积机台(PVD)是三和联公司系列产品中的重要产品,属于三和联自主研发的国内物理气相沉积机台,国产品牌,值得信赖。优质随着客户对于物理气相沉积机台精准度要求的提高,近年来北京三和联公司研发部对物理气相沉积机台(PVD)的投资逐步加大。
工艺参数对 ICP感应耦合等离子体刻蚀机台蚀刻的影响与优化
2025-08-12
三和联电感耦合等离子体 (ICP) 蚀刻系统可提供高密度等离子体解决方案,以满足研究和生产环境的独特工艺要求。我们的紧凑型系统设计可靠耐用,可对多种材料进行精确蚀刻,包括 III-V 族化合物半导体(GaN、GaAs、InP)、硅、SiC、石英、玻璃、电介质和金属。电感耦合等离子刻蚀机 (ICP) 是一种用于微加工的干法刻蚀系统。该系统利用化学反应等离子体去除晶圆上沉积的材料。等离子体由电磁场在低压(真空)下产生。等离子体中的高能离子会攻击晶圆表面并与其发生反应。
感应耦合等离子体蚀刻的基本原理与特点
2025-06-14
三和联公司自主研发的感应耦合等离子体刻蚀机台可实现碳化硅(SiC)的高效精准刻蚀,且对多种材料均可刻蚀,在国内ICP(感应耦合等离子体刻蚀机台)中属于优质设备。
北京三和联科技有限公司国际产品项目启动
2022-06-14
北京三和联科技有限公司专注于半导体设备系列产品研发、生产与销售。三和联自主研发多种半导体系列产品,国产品牌,值得信赖。经过多年经营与发展,在国内市场已取得巨大成就。
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