北京三和联科技有限公司是一家离子蚀刻机制造商，我们研发的离子束蚀刻机是一款多功能离子蚀刻设备。三和联离子蚀刻工艺，可定向重惰性气体原子（氩气）束被加速射向基板，利用重氩原子的动能将材料从基板表面剥离并溅射出去。虽然一些机器也会加入反应气体来加速蚀刻（反应离子铣削），但本机器仅使用化学惰性的氩气。离子束最初由带正电的氩离子组成，这些离子从考夫曼离子源加速射出。然而，电离氩气束在撞击基板之前大部分会被中和器灯丝发射的电子中和，以最大限度地减少高压对敏感基板的损害。

作为国产离子束蚀刻机厂商，三和联研发的离子束蚀刻机可独立控制离子能量、离子电流密度和入射角。水冷式旋转、可倾斜平台可容纳最大 4 英寸（100 毫米）的基板。旋转有助于实现良好的均匀性。倾斜用于控制侧壁角度，去除侧壁上重新沉积的金属“栅栏”，并优化蚀刻效率。

由于材料的溅射速率随表面温度而变化，因此保持基板温度恒定对于重复性和准确性至关重要。冷却台和浸银硅橡胶“干式卡盘”（导热垫片）有助于保持基板冷却。对于需要较长蚀刻时间的较小芯片，通常使用导热银浆将其粘贴到载体晶圆上。对于更快的蚀刻速度，可以使用 Kapton 胶带将芯片固定到载体晶圆上。

虽然离子源可以针对各种电压、电流和气流参数进行编程，但我们已确定了四种基本的“认可配方”，这些配方已被证明对离子源是安全的。然而，这四种基本的“认可配方”中存在一些变量范围，以方便实现所有可能的刻蚀目标。认可配方图表位于下方链接中，并张贴在工具附近的覆膜卡片上。务必遵循认可配方的指导方针，以防止离子源自毁，并在刻蚀后获得良好、光滑的基材表面质量。

北京三和联科技有限公司是一家专注于国产离子束蚀刻机厂商研发与生产的厂商，如果您对我们的离子束蚀刻机有兴趣请给我们致电：18910629018