北京三和联科技有限公司在推出的薄膜沉积设备包括:PECVD、TFCVD、PVD 3款设备,该3款设备为不同领域的客户提供了定制化产品服务。经过多年不断地产品迭代升级及市场验证,该3款设备已经成熟。
北京三和联推出的TFCVD可支持3种模式的选配,分别是:ALD、MoCVD、热CVD,为客户提供定制化服务。