近年来随着中国在半导体行业的持续发力，半导体材料的研究热度不断提高，各大高校相继设立集成电路学院，科研领域对材料制备的要求也越来越高，特别是激光探测器生产、蓝光LED研发、光栅探测器制备、微波功率器件研制、光通讯激光器制造、二维材料科研、芯片失效分析等多个前沿领域对干法刻蚀、薄膜沉积设备的需求与日俱增，但早期国内相关厂商起步较晚，多是采购进口设备；但是随着近些年来国内相关领域的人才积累，海外技术引进，已经出现了一批紧跟国际****水平的国产设备厂家，北京三和联科技有限公司就是其中一个，创始人成长于中科院，多年来不断验证改良设备及工艺，并组建了一只成熟的工程师团队，与国内大厂如北方华创，中微差异化竞争，深耕科研级定制化设备领域，满足高校、研究所客户多用途，定制化需求，目前在市场上已有200余套设备正在运行，获得了大量客户的认可。

等离子体起辉是PECVD系统中等离子体产生的标准过程。在真空环境下，工艺气体经高频电场作用发生电离，生成电子、正离子及活性基团，并形成可见辉光。该过程是薄膜沉积的前提，也是验证系统能量输入、真空及气路状态的重要环节。北京三和联科技有限公司围绕国产等离子体刻蚀设备与PECVD系统，持续整理相关核心技术内容。

在半导体制造核心环节中，干法刻蚀设备的地位举足轻重。长期以来，高端市场被国际厂商主导，实现国产替代成为产业发展的关键。北京三和联科技有限公司，作为一家专注于自主研发的国内品牌，正致力于打破这一格局。

半导体制造中的等离子体预处理是该工艺利用电离气体清洁和活化表面，从而提高诸如引线键合和芯片贴装等工艺的附着力和可靠性。三和联自主研发“SHL”等离子体预处理/清洗机是国产优质品牌，欢迎您的咨询与莅临考察。

炉管化学气相沉积（CVD）系统利用管式炉，通过气态前驱体的化学反应，在基材上沉积薄膜或涂层。北京三和联是自主研发炉管化学气相沉积设备厂商，SHL是国内优质化学气相沉积设备品牌。该工艺包括将基底置于管式炉内加热，并引入反应气体，反应气体在加热的基底上分解形成固体薄膜。这些系统对于制备高性能材料（例如半导体、碳纳米管和二维材料）至关重要。

离子束清洗是一种将高能离子束导向基材以去除污染物的工艺。去除这些污染物可以增强附着力，并改善薄膜与基材之间的界面。在离子束蚀刻中，离子的能量较大，能够从基板表面溅射出材料。离子束蚀刻可用于减薄层或透过掩模定义特征。