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电感耦合等离子体刻蚀的工艺和应用
2025-09-18
北京三和联科技有限公司是一家自主研发国产电感耦合等离子体刻蚀设备厂家。经过长期工艺验证和客户现场实际应用，在国内积累了大量有效工艺参数和经验，并可实现硅深刻蚀。三和联创国产电容耦合等离子体增强化学气相沉积品牌，为国内干法刻蚀设备刻助力！