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RIE的SEM样品制备

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北京三和联科技有限公司专注于国产反应离子刻蚀机研发与生产的厂商，北京三和联（“SHL”）是国内反应离子刻蚀机优秀品。在失效分析设备领域，三和联有着独到的经验和技术。欢迎访问国产失效分析设备厂商北京三和联的官网，了解更多国内失效分析设备品牌相关信息。

失效分析及反向拍照中，受限于光学显微镜放大倍率，需要SEM观察。由于氧化硅厚度会出现穿透能力差及荷电效应，该效应会导致扫描电镜图像畸变、信号漂移、反向中看不清图形等。

用反应离子刻蚀机在通入氩气和HCF3,低功率刻蚀能保证很好的垂直性且留住通孔用于观察和反向拍照。

国产反应离子刻蚀机研发厂商国产失效分析设备厂商

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