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RIE设备的演进之路

北京三和联多年以来专注于等离子体刻蚀机（RIE）国产化，中国离子束刻蚀机（IBE）品牌、市场开拓，自主研发国产刻蚀设备以及干法刻蚀设备国产品牌等方面的研发与生产，在离子刻蚀国产化及扩展中国离子刻蚀设备市场方面发挥着重要作用。