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干法刻蚀中的沟槽效应与挑战及优化工艺参数实现高效蚀刻
2025-08-19
欢迎访问北京三和联科技有限公司官网!北京三和联是一家自主研发国产ICP的制造商,为您提供多种干法蚀刻设备。联系电话:18910215538
用于碳化硅(SiC)刻蚀的电感耦合等离子体(ICP)应用与优化
2025-08-19
北京三和联是一家国产ICP感应耦合等离子体刻蚀机台的厂家。
北京三和联12项独特的团队建设活动,提升团队水平
2025-08-19
一个强大的团队不是偶然形成的——它是通过有意义的经历建立起来的,这些经历激发了协作、创造性思维和信任。 2025年6月28日,北京三和联科技有限公司团队一起尝试的最独特的团队建设活动。
材料蚀刻:利用广泛使用的酸的腐蚀性的材料加工—北京三和联科技有限公司
2025-08-19
北京三和联科技有限公司是一家国产离子束刻蚀设备制造商,自主研发SLH品牌离子束刻蚀设备系列产品。北京三和联为您简单讲解材料蚀刻:利用广泛使用的酸的腐蚀性的材料加工。蚀刻在古代用于印刷和铜板雕刻,今天仍然是印刷电路板和半导体制造的核心技术。本节介绍了蚀刻的原理和类型,并解释了它与清洁过程的关系以及进行蚀刻时需要注意的事项。
工艺参数对 ICP感应耦合等离子体刻蚀机台蚀刻的影响与优化
2025-08-12
三和联电感耦合等离子体 (ICP) 蚀刻系统可提供高密度等离子体解决方案,以满足研究和生产环境的独特工艺要求。我们的紧凑型系统设计可靠耐用,可对多种材料进行精确蚀刻,包括 III-V 族化合物半导体(GaN、GaAs、InP)、硅、SiC、石英、玻璃、电介质和金属。电感耦合等离子刻蚀机 (ICP) 是一种用于微加工的干法刻蚀系统。该系统利用化学反应等离子体去除晶圆上沉积的材料。等离子体由电磁场在低压(真空)下产生。等离子体中的高能离子会攻击晶圆表面并与其发生反应。
感应耦合等离子体蚀刻的基本原理与特点
2025-06-14
三和联公司自主研发的感应耦合等离子体刻蚀机台可实现碳化硅(SiC)的高效精准刻蚀,且对多种材料均可刻蚀,在国内ICP(感应耦合等离子体刻蚀机台)中属于优质设备。
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