The Beijing Sanhe Lian multi piece cleaning machine series products are based on capacitive or inductive coupled plasma technology and are independently developed machines with intellectual property rights. Suitable for the removal or surface modification of organic materials such as photoresist (PR), PMMA, HDMS, etc.

Main configuration functions of the cleaning machine：

1. Main configuration functions of the cleaning machine 1 Support sample size: 6 inches downward compatible, can process multiple pieces simultaneously;

2. RF power: 0~300/500 W, automatic matching;

3. Front stage pump: oil pump/dry pump;

4. Process gas: 2-3 channels;

5. Gas types: O2, N2, Ar;

6. Gas flow range: 0~300 sccm;

7. Type of flow control: MFC/float type;

8. Fully automatic control system;

9. Full touch screen control;

10. Materials that can be processed: PR, PMMA, HDMS, organic film

清洗机应用领域：

1.  光学器件、电子元件、半导体元件、激光器件、镀膜基片等的超清洗；

2. 生物芯片、微流控芯片、沉积凝胶的基片的清洗，以及高分子材料表面的修饰；

3. 改善光学元件、光纤、生物医学材料、宇航材料等所用胶水的粘和力；

4. 移植物、生物材料表面、硅酮压模材料表面的预处理，增强其浸润性、粘附性和相容性；

5. 对医疗器械的消毒和杀菌；

清洗机样品处理结果：

硅表面疏水表面处理

表面改性，可用于材料表面亲疏水处理以及材料表面官能团（-OH/-H/-COOH）的 嫁接处理，用以改变材料表面的物理化学性质

多片式清洗机系列产品基于容性或感性耦合等离子体技术，为自主研发机台，具有 知识产权。适用于有机材料如光刻胶（PR），PMMA，HDMS等材料的去除或材料表面改性。 

该系列产品具有如下特点： 

1）一体型机台，整机Footprint为630mm*600mm； 

2）基于工控机的控制方案，自主开发的全自动控制系统，带菜单； 

3）机台配置灵活，可单片或多片使用； 

4）模块化设计，维护与升级极其方便；

5）工艺稳定，性能优越。

清洗机 (PT) 设备Layout：